> 제품정보 > 정량토출펌프 > 반도체・액정 분야 > 정량 · 정 유량 성능 중시 > 전동 RT 펌프 F-EPR 시리즈
● 신개발의 RT 구조를 채용하고 튜브 방식이면서 높은 응답성을 실현한 펌프. 사용 유체 : 포토 레지스트, 순수, 약액 (가연성 물질 불가)
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