● 소형 정밀 레귤레이터, 0.001Mpa의 감도에 압력을 대해 미세하게 설정 가능.

●액정, 반도체 관련 프로세스에서의 각종 용제, 순수 회로 중의 캐리어 가스 블로우 압력, 클린 에어, 가스의 압력 제어 등을 정밀 (감도 0.001MPa)로 설정 가능.