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정량성능중시

  • 전동 벨로우즈 펌프 F-EPB 시리즈
    ● 제어 가능한 스테핑 모터를 사용한 벨로우즈 펌프. 사용 유체 : 포토 레지스트, 순수, 약액 (가연성 물질 불가)
  • 전동 CT 펌프 F-EPT 시리즈
    ● 미세화하는 반도체 웨이퍼에 대응하는 차세대 전동 펌프, 정량 토출 펌프입니다. 세계 최초 (주)CT펌프 구조를 개발, 저 발진, 메인터넌스 불필요, 심플한 구조를 통해 고 정밀도를 실현했습니다.

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